隧道防水板隨著隧道板氣相沉積技術被廣泛用于制備各種功能性薄膜材料,材料的氣-固相變也日益顯示出其重要性。氣-固相變雖與液-固相變有諸多相似性,但其蒸發和凝聚的控制,轉變產物的結構和形態均有自身的特點。本節圍繞氣相沉積中的氣-固相變,討論材料飽和蒸氣壓與溫度的關系,氣相沉積中兩個基本過程,蒸發和凝聚(沉積)的熱力學條件,凝聚過程中的形核與生長。
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地(di)址:福建省福州市(shi)長樂區文武砂(sha)鎮
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